在晶圆制造过程中,制程偏差是导致良率损失的主要因素之一,其典型表现即为晶圆上Die的区域性集群失效。此类失效并非随机分布,而是呈现出与特定制程弱点紧密相关的空间模式,例如由光刻热点、CMP不均匀或热应力集中所导致的失效环、边缘带或局部区块。然而,一个更为隐蔽且严峻的挑战在于,在这些完全失效的Die周围,往往存在一个“受影响区”。该区域内的Die虽然未发生catastrophicfailure,其内部可能已产生参数漂移或轻微损伤,在常规的CP测试中,它们仍能满足规格下限而呈现出“Pass”的结果。这些潜在的“薄弱芯片”在初期测试中得以幸存,但其在后续封装应力或终端应用的严苛环境下,早期失效的风险将明细高于正常芯片。为了将这类“过测”的潜在失效品精确识别并剔除,避免其流出至客户端成为可靠性隐患,常规的良率分析已不足以应对。必须借助特定的空间识别算法,对晶圆测试图谱进行深度处理。
上海伟诺信息科技有限公司Mapping Over Ink功能提供精确的算法能够通过分析失效集群的空间分布与形态,智能地推断出工艺影响的波及范围,并据此将失效区周围一定范围内的“PassDie”也定义为高风险单元并予以剔除。这一操作是构建高可靠性产品质量防线中至关重要的一环。 工艺波动引发的微小偏移通过PAT统计模型精确捕捉,实现早期预警。安徽晶圆Mapping Inkless平台

在半导体制造中,晶圆厂制程的任何微小变动,都可能引起良率与可靠性的风险。其中,一个尤为典型的系统性失效模式,便源于光刻环节的Reticle(光罩)。当Reticle本身存在污染、划伤或设计瑕疵时,或当光刻机在步进重复曝光过程中出现参数漂移(如焦距不准、曝光能量不均)时。这些因Reticle问题而产生的特定区域内的芯片,实质上构成了一个高风险的“潜伏失效群体”。若不能在测试阶段被精确识别并剔除,将直接流向客户端,对产品的长期可靠性与品牌声誉构成严重威胁。识别并处理这类与Reticle强相关的潜在缺陷,是现代高可靠性质量管理中一项极具挑战性的关键任务。
上海伟诺信息科技有限公司在Mapping Over Ink功能中提供了一个Shot Mapping Ink方案,可以将整个Mapping按Reticle大小或是自定义大小的方格,根据设定的算法将整个Shot进行Ink, 从而去除掉因光刻环节的Reticle引起的潜在性失效芯片。通过Shot Mapping Ink方案,用户能够将质量管控的关口从“筛查单个失效芯片”前移至“拦截整个失效风险区域”。这尤其适用于对可靠性要求极严苛的车规、工规等产品,它能极大程度地降低因光刻制程偶发问题导致的批次性可靠性风险,为客户构建起一道应对系统性缺陷的坚固防线。 山西自动化Mapping Inkless系统价格客户可复用Mapping Over Ink处理结果进行跨批次对比分析,优化生产工艺。

标准化良率管理系统难以覆盖不同企业的工艺路径与管理重点,定制化成为提升系统价值的关键路径。YMS支持根据客户实际使用的测试平台组合、数据结构及分析维度进行功能适配,例如针对特定封装流程优化缺陷分类逻辑,或为高频监控场景开发专属看板。系统底层架构保持统一,上层应用则灵活可调,既保障数据治理规范性,又满足业务个性化需求。定制内容包括但不限于报表模板、卡控阈值、导出格式及用户权限体系,确保系统与现有工作流无缝融合。通过前期深度调研与迭代式交付,定制方案能精确匹配客户在良率提升、异常预警或合规追溯等方面的目标。上海伟诺信息科技有限公司将定制服务视为价值共创过程,以技术灵活性支撑客户业务独特性。
在高频测试场景下,重复提交或设备通信中断常导致数据冗余或缺失,直接影响良率计算准确性。YMS系统通过时间戳、测试编号、晶圆ID等关键字段自动扫描数据集,识别完全重复或部分重叠的记录,并予以合并或剔除;同时检测关键参数字段是否为空,快速定位缺失节点并提示修正。该机制嵌入数据清洗流程,与异常值过滤协同工作,确保进入分析环节的数据集完整、干净、无偏。例如,当某批次CP测试因机台故障中断后重跑,系统可自动识别并保留有效片段,避免重复计数拉低整体良率。这种自动化质量控制大幅降低人工核查负担,提升决策可靠性。上海伟诺信息科技有限公司将数据完整性视为YMS的关键能力之一,持续强化其在复杂生产环境中的鲁棒性。GDBC算法利用聚类分析检测空间聚类型失效模式,精确定位斑点划痕类缺陷。
面对半导体生产现场,车间良率管理系统实现了对制造过程的实时洞察与动态调控。系统自动汇聚来自各类测试设备的原始数据,经智能解析后形成结构化数据库,支撑对各工序、各时段良率表现的即时追踪。管理者可通过可视化图表快速识别产线瓶颈、异常波动或区域性缺陷,及时干预以减少损失。系统不仅支持按需生成标准化报告,还可导出多种格式,适配车间操作与高层管理的不同使用场景。这种数据透明化机制,明显提升了生产过程的可控性与响应速度。上海伟诺信息科技有限公司凭借对半导体制造流程的深刻理解,将YMS打造为连接设备数据与管理决策的高效桥梁。UPLY处理针对特定层间关联缺陷,通过垂直面算法判定单颗Die失效概率。北京可视化MappingOverInk处理服务商
Mapping Over Ink处理减少人工复核负担,提升质量控制效率。安徽晶圆Mapping Inkless平台
不同封测厂的设备组合、工艺路线和管理重点差异明显,标准化系统难以满足全部需求。YMS提供高度可定制的生产良率管理方案,可根据客户实际接入的Tester设备(如T861、STS8107、MS7000等)和数据结构,调整解析逻辑、分析维度与报表模板。例如,针对高频返工场景,可定制缺陷聚类规则;针对客户审计需求,可开发合规性报告模块。系统底层保持统一数据治理规范,上层应用则灵活适配业务流程,确保数据质量与使用效率兼顾。SYL/SBL自动计算与多格式报表导出功能,进一步提升质量闭环速度。这种“量体裁衣”式的服务模式,使系统真正融入客户日常运营。上海伟诺信息科技有限公司将定制开发视为价值共创过程,以技术灵活性支撑客户业务独特性。安徽晶圆Mapping Inkless平台
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