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一种蚀刻方法，其特征在于，使用根据权利要求1至7中任一项所述的蚀刻液，在铜的存在下选择性地蚀刻钛。蚀刻液及蚀刻方法技术领域[0001]本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术[0002]以往，在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如文献1中提出了一种钛的蚀刻液，该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛，并且该蚀刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的过氧化氢、0.05重量％至5重量％的磷酸、0.001重量％至0.1重量％的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。[0003]但是，含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高BOE蚀刻液专业生产厂家，苏州博洋化学股份有限公司。河南无机BOE蚀刻液哪里买

    为了能在阴极板23单侧表面上形成均匀分布且厚度一致的铜，以便于后续的剥离，本实施例在该电解槽21两端内侧分别形成有供阴极板23端部由上至下插入的两个纵向条形插槽211，且该两个纵向条形插槽211分布于电解槽21端部的两侧边上，该阴极板23两端插入纵向条形插槽211中之后，该阴极板23外侧面与电解槽21内壁相靠近，且接近于贴合，推荐的，阴极板23外侧面与电解槽21内壁接触贴紧时为佳的状态，则此时阴极板23外侧面与电解槽21内壁之间无缝隙。由于阴极板23端部插入到了纵向条形插槽211中，则阴极板23端部表面与纵向条形插槽211内壁之间几乎没有缝隙，同时，阴极板23外侧面与电解槽21内壁之间也几乎没有缝隙，因此，在阴极板23端部表面与纵向条形插槽211内壁之间、及阴极板23外侧面与电解槽21内壁之间电解液药水很少，几乎没有，即在这两个位置处电解液交换量很少，甚至没有，即在这两个位置处无铜离子的存在。由此，在阴极板23端部表面(靠边上)、及阴极板23外侧面上长铜很少，甚至不长铜，而在阴极板23内侧表面上(除了端部表面)附上了一层铜，且铜分布均匀，厚度一致，阴极板上铜的有效面积大，便于后续将铜拆下来，有效杜绝了阴极板23上铜层四周厚、中间薄现象的发生。河南无机BOE蚀刻液哪里买欢迎询价，苏州博洋化学股份有限公司。

    这两种体系再生设备设备不仅可以节省约30%的物料成本，还降低废水处理成本，且可以电解出金属铜。二、蚀刻液再生循环系统在电子线路版（PCB）蚀刻过程中，蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到比较好的蚀刻效果，每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐（NH4CI）及氨水（NH3）。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度比较好水平，蚀刻用过后的（以下称[用后蚀刻液]）溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水，补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液，既可达到蚀刻工艺的要求，又可节省生产成本。蚀刻液再生循环系统有酸性、碱性两大系统，两大系统又可分为萃取法、直接电解法。可将大量原本需要排放的用后蚀刻液还原再生成为可再次使用的再生蚀刻液。从而减少生产废液的排放，回用降低生产成本，且可提取出高纯度电解金属铜。

    多级逆流萃取CWL-M系列离心萃取机是郑州天一萃取科技有限公司自主研发生产的新型、快速、高效的液液萃取分离设备，主要应用于萃取、反萃、水洗、碱洗、酸洗等洗涤段的操作单元。离心萃取机的优势在于易维护、处理量大、功耗低、材质耐腐蚀等，同时克服了传统萃取设备不易维护、故障频繁等难题，被应用于化工、湿法冶金、环保等众多领域。多级逆流萃取目前用的比较多的设备有：离心萃取机、萃取澄清槽、萃取塔。其中，取近几年推出的新型CWL-M离心萃取机是目前广为采用的，该系列离心萃取机处理量大、萃取效率高、可连续操作、分离效果较好、耐酸碱环境。主要有萃取法、金属置换法、电解还原法等，其中溶剂萃取法通过萃取工艺技术可有效分离废液中的镍离子，使镍得到回收，废液得到再生经济价值高，回收效果好。目前用的比较多的设备有：离心萃取机、萃取澄清槽、萃取塔。其中，郑州天一萃取近几年推出的新型CWL-M离心萃取机是目前广为采用的。该系列离心萃取机处理量大、萃取效率高、可连续操作、分离效果较好、耐酸碱环境。主要有萃取法、金属置换法、电解还原法等，其中溶剂萃取法通过萃取工艺技术可有效分离废液中的镍离子，使镍得到回收，废液得到再生经济价值高。苏州BOE蚀刻液厂家哪家好？

一种蚀刻液，其特征在于，用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛，并且含有：选自由硫酸、盐酸及三氯乙酸所组成的群组中的至少一种酸；以及选自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所组成的群组中的至少一种有机硫化合物。 2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述硫酮系化合物为选自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所组成的群组中的至少一种。 3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液，其特征在于，所述硫醚系化合物为选自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所组成的群组中的至少一种。苏州博洋专业生产BOE蚀刻液欢迎询价。河南工业级BOE蚀刻液供应

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    三氯化铁蚀刻液在印制电路、电子和金属精饰等工业中被采用，一般用来蚀刻铜、铜合金、不锈钢、铁及锌、铝等。虽然近些年来越来越要求再生容易，更加环保的蚀刻液，但由于三氯化铁蚀刻液它的工艺稳定，操作方便，价格便宜，因此还仍然被广大蚀刻加工企事业单位采用。三氯化铁蚀刻液适用于网印抗蚀印料、液体感光胶、干膜、镀金抗蚀层等抗蚀层的印制板的蚀刻。（但不适用于镍、锡、锡－铅合金等抗蚀层）1.蚀刻时的主要化学反应三氯化铁蚀刻液对铜箔的蚀刻是一个氧化－还原过程。在铜表面Fe3+使铜氧化成氯化亚铜。同时Fe3+被还原成Fe2+。FeCl3＋Cu→FeCl2＋CuClCuCl具有还原性，可以和FeCl3进一步发生反应生成氯化铜。FeCl3＋CuCl→FeCl2＋CuCl2Cu2+具有氧化性，与铜发生氧化反应：CuCl2＋Cu→2CuCl所以，FeCl3蚀刻液对Cu的蚀刻时靠Fe3+和Cu2+共同完成的。其中Fe3+的蚀刻速率快，蚀刻质量好；而Cu2+的蚀刻速率慢，蚀刻质量差。新配制的蚀刻液中只有Fe3+，所以蚀刻速率较快。但是随着蚀刻反应的进行，Fe3+不断消耗，而Cu2+不断增加。当Fe3+消耗掉35％时，Cu2+已增加到相当大的浓度，这时Fe3+和Cu2+对Cu的蚀刻量几乎相等；当Fe3+消耗掉50％时。河南无机BOE蚀刻液哪里买

苏州博洋化学股份有限公司成立于1999年，公司座落于苏州市高新区化工工业园，是一家集研发、生产、销售为一体的大型精细化工企业，主要为先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB等行业提供专业的化学品解决方案。努力构建面向未来的创新型和学习型企业。博洋股份于2015年11月在全国中小企业股份转让系统成功挂牌。（证券代码：834329）拥有先进的理化分析、应用测试仪器以及一支以本科、硕士、博士为主的多层次研发团队，致力于超净高纯、功能性微电子化学品的研究开发;并根据客户的个性化需求量身定制整套化学品解决方案，力求持续的为客户创造价值。博洋除拥有完善的自主研发能力外，与华东理工大学共同建立省级研究生工作站;长期保持与苏州大学、中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的合作关系，以辅助新产品的开发测试。对新技术、新工艺的研究精益求精，立志成为微电子材料领域个性化解决方案的***