表%九氟丁基甲基醚和50重量%甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出92重量%九氟丁基甲基醚和8重量%甲基四氢呋喃的共沸组合物,其在°C的沸点。实施例2如实施例1所述进行沸点测定方法。表II给出九氟丁基乙基醚和甲基四氢呋喃的各种混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量%甲基四氢呋喃的重量%(°C)%九氟丁基乙基醚和50重量%甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出%九氟丁基乙基醚和%甲基四氢呋喃的共沸组合物,其在°C的沸点。清洗试验的总体过程首先,用FORANE141b对2X5cm的不锈钢片材进行脱脂。这些片材各自在测试之前称重,其构成皮重。然后,在这些片材的单侧上涂布油REDUCTELFSP460。对该涂布有油的片材进行称重,并由与皮重的差值推算出涂布的油的量。接下来,将该涂布有油的片材浸5入到含有100ml待评价组合物的烧杯中5分钟,不进行搅拌且无超声。该片材一移出,就在通风的情况下进行15分钟的滴干(dripdry),并且,在该15分钟结束时,通过称重测定油的残留量。与油的初始量相比,计算移除的油的百分数。实施例3在使用九氟丁基甲基醚的组合物的情况下,得到0%的油移除率。实施例4在使用包含8重量%的2-MeTHF和92重量%的九氟丁基甲基醚的组合物的情况下。苏州博洋专业生产,BOE蚀刻液。湖南电子级BOE蚀刻液订做价格

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其扩散管深入到所述再生液调配缸中;液体泵,其一端通过管道连接所述再生液调配缸的循环出液口,另一端通过管道连接所述射流器的进液口,用于将所述再生液调配缸中的电解后液通过所述管道抽取至所述射流器的进液口。进一步地,所述酸性蚀刻液电解后液处理系统还包括:曝气装置,用于向所述再生液调配缸中的电解后液输送气体以进行搅拌。进一步地,所述酸性蚀刻液电解后液处理系统还包括:后续处理系统,用于向经过所述再生液调配缸处理过的电解后液中加入氯化钠、盐酸并搅拌均匀。更进一步地,所述电解槽的阳极为石墨电极,阴极为钛或钛合金板状电极。更进一步地,所述电解槽中阴极与阳极之间的距离为55mm。更进一步地,所述电解槽的电流密度为300a/m2。本实用新型所提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统通过简单的结构实现了电解后废液的再生利用,可节约能耗和药品,提高经济效益。附图说明图1是本实用新型实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统的结构图;图2是本实用新型第二实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统的结构图。具体实施方式为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解。
添加剂为二乙二醇单甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分别为%、%、%。实施例6本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制,先称取浓度为85%的磷酸,然后称取添加剂加入磷酸中,该实施例中所含成分及各成分称取的质量显示于表1。添加剂为丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸钠,添加量分别为总质量的%、%、%。对照例对照例中所含成分显示于表1,并采用与实施例相同的方法进行处理。对照例1为纯磷酸,总质量为400g。对照例2为磷酸、丙二醇丁醚,其中丙二醇丁醚的添加量为总质量的%。对照例3为磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量为总质量的%。结果如表2所示,与对照例蚀刻液相比,实施例蚀刻液有更低的表面张力和接触角,并且氮化硅层蚀刻后显示出良好的均匀性。表1表2显然,上述实施例和对照例是为了清楚地说明所作的实例,而并非对实施方式的限制。对于所属领域的技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动,这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而因此所引申的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之内。苏州博洋专业生产,BOE蚀刻液生产。

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