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    用于将空气喷射到玻璃的将被暴露于激光束的预定部分并因此瞬时去除喷淋液，从而可得到更准确地玻璃厚度测量数据。一般的，所述目标厚度为减薄处理后所需求玻璃的理论厚度值，所述理论厚度值为具有公差的范围值。所述玻璃减薄生产线还包括辅助厚度测量仪，所述辅助厚度测量仪设置在所述冲洗区2中并用于再次测量经减薄处理后的玻璃厚度，所述辅助厚度测量仪将测得玻璃厚度发送到所述控制器。所述辅助厚度测量仪的设置可降低所述主厚度测量仪32失灵或因所述蚀刻区3中的阻碍因素不能正确测量玻璃厚度时异常操作而造成的玻璃减薄缺陷，所述阻碍因素可以为喷淋液的喷淋阻碍或所述玻璃加工治具4的振动。所述控制器基于所述辅助厚度测量仪测得的玻璃厚度确定在所述蚀刻区3中是否正常执行减薄处理或者所述主厚度测量仪32是否正确工作。一般的，从所述辅助厚度测量仪接收的玻璃的厚度超出目标厚度的公差范围，则所述控制器确定所述主厚度测量仪32无法正确工作或者在所述蚀刻区3中没有正常执行减薄处理。在这种情况下，所述控制器发出警报来通知管理者，所述主厚度测量仪32失灵或者所述蚀刻区3中的减薄处理异常。所述主厚度测量仪32失灵或所述者蚀刻区3中的减薄处理异常可能是暂时的。性价比高的减薄用清洗剂的公司。合肥国产减薄用清洗剂私人定做

    图1为本发明实施例提供的一种抛光减薄装置的结构示意图；图2为本发明实施例提供的一种托盘和待加工部件的键合固定方式示意图；图3为本发明实施例提供的一种磁转子的结构示意图；图4为本发明实施例提供一种磁转子的旋转方式的示意图；图5为本发明实施例提供的一种抛光减薄方法的流程示意图。具体实施方式以上是本发明的思想，为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供了一种抛光减薄装置，用于对inp基晶圆等部件进行抛光减薄，如图1所示，包括托盘10、喷头11和磁转子12，当然，本发明实施例中的抛光减薄装置还包括反应室13等，托盘10、喷头11和磁转子12等在反应室13内进行抛光和减薄反应。其中，托盘10，可选为石英托盘，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圆。喷头11用于向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110，以对待加工表面进行抛光。台州哪里减薄用清洗剂技术指标使用减薄用清洗剂的需要什么条件。

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    降低待加工部件20如inp基晶圆的机械加工损伤。由于本发明实施例中采用光刻胶对托盘和待加工部件进行了固定，因此，对待加工部件的待加工表面进行抛光和减薄之后，还包括：对待加工部件进行清洗；采用特定溶液对光刻胶进行腐蚀，以将待加工部件与托盘分离。具体地，在完成抛光和减薄后，可以采用直链烷基苯磺酸盐溶剂对待加工部件20进行清洗，用di水冲洗干净，40℃的氮气吹干。之后，将清洗后的待加工部件20和托盘10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盘10自动分离，取出待加工部件20后清洗干净即可。本发明实施例提供的方法，还包括：在磁转子运行一段时间后，更换磁转子。如磁转子12工作1小时后，可以将磁转子12更换为新的磁转子，以使磁转子与待加工表面贴合紧密，避免了传统减薄工艺中由于转子形变误差造成的加工精度失真。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明。减薄清洗剂，良好品质，值得信赖，让您的加工更轻松。

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    若干所述侧支撑件44固定设置在所述固定板423的端面上；所述固定板423两端均设置有至少两个固定卡块427，所述固定卡块427一般设置为矩形横截面结构，便于所述固定板423端面的朝向定位；对应的，所述调节槽内设置有固定槽426，当所述固定板423两端各自的两所述固定卡块427分别设置于对应的所述固定槽426内时，设置有所述侧支撑件44的端面对应所述竖直平板421上的所述侧支撑件44，且设置所述侧支撑件44的所述竖直平板421和所述固定板423设置在所述底支撑件43的两侧，从而实现对所述盛放部内玻璃的支撑限位。其中，如图3所示，所述侧板422上所述调节槽的一种实施方式为，所述调节槽包括若干水平槽424和与所述水平槽424均竖直贯通连接的竖直槽425，所述固定槽426设置于所述水平槽424的下边缘，所述固定槽426对应所述固定卡块427设置为u型槽，从而便于固定所述固定卡块427的摆放位置。所述水平槽424和所述竖直槽425的尺寸均对应所述固定卡块427的尺寸设置，使所述固定卡块427可在所述水平槽424和所述竖直槽425内自由移动。在本实施方式中，两所述竖直平板421中一所述竖直平板421上设置有所述侧支撑件44，同一所述水平槽424多只设置一个所述固定卡块427。合肥国产减薄用清洗剂私人定做