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    将待加工部件固定在托盘上包括：采用光刻胶将待加工部件固定在托盘上。具体地，将待加工部件背面喷涂厚度约为2μm的光刻胶，如az4620光刻胶，然后在托盘表面喷涂厚度约为3μm的光刻胶，如az4620光刻胶，之后，将托盘光刻胶面向上放于温度为90℃的热板上，将待加工部件光刻胶面和托盘光刻胶面贴合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar压强于待加工部件上进行键合，键合时间20min。s102：通过喷头向待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对待加工表面进行抛光；s103：通过磁转子旋转对待加工表面进行机械研磨，来对待加工表面进行减薄。可选地，本发明实施例中，s102和s103可以交替进行，也就是说，控制磁转子旋转一段时间后，控制磁转子停止旋转，并控制喷头喷涂抛光液，停止喷涂抛光液后，再次控制磁转子旋转，以此类推。本发明实施例中，通过磁转子和喷头交替工作，实现了减薄和抛光两种工艺交替作用，使得减薄和抛光一体化完成，整个过程稳定，速度快，控制性好，重复度高，无粉尘污染，衬底减薄终厚度达到20μm，抛光面ra＜2nm。由于减薄过程中待加工部件20如inp基晶圆本身不旋转，因此，可以降低抛光减薄过程中对待加工部件20如inp基晶圆的挤压应力。

    7保质期24主营产品：工业清洗剂空调清洗剂水处理药剂除锈除油剂￥所在地：四川眉山在线询价供应铝材防氧剂、铜保护剂、铜清洗剂产品名称铜保护剂品牌FABLE/福邦系列36是否危险化学品否是否进口否主营产品：工业润滑油自行车润滑油钟表加工润滑油防水油食品级油格林润滑科技（惠州）有限公司所在地：广东惠州在线询价KRB-206环保铝、铜清洗剂铝制品清洗剂强除油无腐蚀不变色类别碱性清洗液型号KRB-206主要用途金属表面除油脱脂执行标准国标企标CAS略主营产品：切削液除锈剂防锈油防锈剂清洗剂除油粉中性除油除锈剂￥武汉科瑞博科技有限公司所在地：湖北武汉在线询价生产厂家提供铜及其合金高效清洗剂1分钟快速油污清洗剂分类铜清洗剂型号HWJ-781品牌辉炜佳PH值8-9保质期18CAS无主营产品：陶化剂硅烷处理剂脱漆剂钝化剂￥东莞市辉炜佳金属科技有限公司所在地：广东东莞在线询价供应销售环保型铜化学抛光剂如铜化学抛光剂，铜酸洗工艺，铜抛光剂，铜清洗剂，铜本色清洗，铜氧化皮清洗分类精密电子仪器清洗剂型号Q810PH值保质期。专业减薄用清洗剂，为您解决生产中的涂层难题。

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