Buffered Oxide Etch,BOE就是buffer oxide etch, B.O.E 缓冲蚀刻液 BOE是HF与NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蚀刻即表示49%HF水溶液:40%NH4F水溶液=1:6(体积比)的成分混合而成。刻蚀速度约10nm每秒。HF为主要的蚀刻液,NH4F则作为缓冲剂使用。利用NH4F固定〔H+〕的浓度,使之保持一定的蚀刻率。HF会浸蚀玻璃及任何含硅石的物质,对皮肤有强烈的腐蚀性,不小心被溅到,应用大量水冲洗。
BOE(Buffered Oxide Etch),缓冲氧化物刻蚀液。由氢氟酸(49%)与水或氟化铵与水混合而成。 BOE蚀刻液应用于什么样的场合?浙江介绍BOE蚀刻液生产

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微蚀液包括过硫酸钠/硫酸体系和双氧水/硫酸体系,在近几年的运用在PCB之表面处理制程,例如:沉铜(PTH)制程,电镀制程、内层前处理、绿油前处理、OSP处理等生产线。我们公司目前对过硫酸钠/硫酸和双氧水/硫酸两种体系的微蚀工序研发设计了不同的循环再生设备。无论是过硫酸钠/硫酸体系还是双氧水/硫酸体系,我司设备均可把饱和微蚀液处理再生后,返回客户生产线继续使用,回用时,不改变客户原生产工艺参数;在运行我们公司设备时可不停机亦可更换药水,从而达到稳定生产的目的。这两种体系再生设备设备不仅可以节省约30%的物料成本,还降低废水处理成本,且可以电解出金属铜。
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