干冰清洗基本参数
  • 品牌
  • coulson,Icesonic,hydac,FG
  • 型号
  • 齐全
  • 一站式
  • 供应省心
  • 资质
  • 资质齐全
  • 交货周期
  • 兼容性
  • 公司优势
  • 成熟
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干冰清洗企业商机

工具与治具清洁:晶圆载具: 清洁用于传输和存储晶圆的卡匣、FOUP/FOSB门、内部表面上的微粒、有机物残留和静电吸附的灰尘。机器人手臂末端执行器: 清洁用于搬运晶圆的机械手上的微粒和污染物,防止污染晶圆。工艺腔室内的夹具和基座: 去除静电卡盘、固定装置等表面的沉积物。封装与测试环节:模具、封装设备部件: 清洁封装设备(如键合机、塑封机)模具表面、顶针、传送带等部件上的溢料、脱模剂残留、环氧树脂等。测试插座、探针卡: 去除探针卡、测试插座接触点上的氧化物、有机物残留、助焊剂残留等,确保良好的电接触。需要极其精细的控制以避免损坏精密探针。PCB板/基板预处理: 在键合或组装前,清洁PCB或基板表面的氧化物、指纹、油脂等轻微污染物。酷尔森环保科技(上海)有限公司的干冰清洗技术在芯片(半导体)制造行业中的应用是一种高效、精密且环保的清洁方法,尤其适用于对污染极度敏感、不能接触液体或化学溶剂、且需要避免物理损伤的精密设备和组件。干冰清洗技术凭借其无残留、低温无损、环保高效等特性,在锂电池行业的生产、组装、维护中展现出优势。辽宁全气动干冰清洗24小时服务

干冰清洗

干冰清洗凭借无残留、不引入水分、无损清洁、环保高效等特性,在锂电行业(从原材料加工到电芯生产、PACK 组装及设备维护)中得到广泛应用,尤其适配锂电生产对 “高洁净度、低污染、高精度” 的严苛要求。以下是其**应用场景及优势:一、极片生产环节的清洁极片是锂电池的**部件,其表面洁净度直接影响电芯的一致性、安全性及循环寿命。干冰清洗在极片生产的关键工序中可精细解决污染问题:1. 涂布机模头与辊筒清洁清洁对象:涂布模头(狭缝、唇口)、转移辊、背辊等。污染问题:涂布过程中,浆料(正极材料如三元、磷酸铁锂;负极材料如石墨)易在模头狭缝残留、固化,形成 “结垢”,导致涂布膜厚不均、边缘毛刺或漏涂;辊筒表面则可能附着浆料颗粒、粉尘,影响极片表面平整度。酷尔森icestorm干冰清洗作用:无需拆卸模头,通过干冰颗粒(-78.5℃)的低温脆化效应,使残留浆料脆化剥离,同时利用压缩空气动能去除缝隙内污垢,避免传统拆解清洗导致的停机时间过长(传统清洗需 4-8 小时,干冰清洗可缩短至 30 分钟内)。控制干冰颗粒大小(如 3-5mm 细颗粒)和喷射压力(0.2-0.5MPa),可避免划伤辊筒表面镀铬层或镜面,保障涂布精度。海南无污染干冰清洗生产商酷尔森清洗后干冰直接升华为二氧化碳气体,无二次废物产生,简化了清理流程。

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干冰清洗作用:采用超细干冰颗粒(1-3μm) 配合极低压力(0.05-0.2MPa) 喷射,利用干冰的低温(-78.5℃)使表面污染物脆化,同时通过压缩空气的动能剥离颗粒,且干冰升华后*产生 CO₂气体(惰性,不与光罩材料反应),无任何残留。无需接触光罩表面,避免机械划伤;无水分引入,适配光罩对 “***干燥” 的要求(水分可能导致表面氧化或残留水渍)。2. 晶圆表面预处理与中间清洁清洁对象:未加工晶圆(裸片)、沉积 / 刻蚀后的晶圆表面。污染问题:裸片表面可能残留切割后的硅粉、金属杂质(如 Fe、Cu),影响后续氧化层(SiO₂)生长的均匀性;沉积(CVD/PVD)后,晶圆表面可能附着未反应的靶材颗粒(如 Al、Cu);刻蚀(等离子刻蚀)后可能残留聚合物残渣(如氟碳聚合物),若未去除会导致后续薄膜层间结合不良。酷尔森icestorm干冰清洗作用:针对裸片:去除表面微米级硅粉和金属颗粒,且不损伤晶圆表面的原子级平整度(Ra≤0.1nm);针对刻蚀后残留:利用干冰低温使聚合物残渣脆化(聚合物在低温下硬度提升 3-5 倍),通过精细喷射压力(0.1-0.3MPa)剥离,避免传统等离子清洗可能导致的晶圆表面刻蚀过度。

ICEsonic干冰清洗机凭借其非研磨、无水、无化学残留的特性,在多个工业领域提供高效环保的清洁解决方案。以下是其**应用范围及典型场景分类整理如下:一、工业制造与模具清洁模具清洗适用模具类型:注塑模具、轮胎模具、橡胶模具、合金压铸模具、热/冷芯盒等。***污染物:树脂残留、脱模剂碳化物、油污、积碳,恢复模具表面光洁度。优势:在线清洗无需拆卸模具,避免机械损伤或化学腐蚀,减少停机时间80%以上。设备与生产线维护应用场景:清洁锻造工具、灌装系统、输送机及混合设备。去除塑料部件毛刺、清洗印刷机齿轮导轨的油墨堆积。清理烘炉、反应釜、换热器表面的聚氯乙烯树脂或焦垢。电力设施清洁对象:变压器(37KV以下带电作业)、绝缘子、配电柜、发电机定子/转子、涡轮机叶片。作用:***油污、碳氢化合物、锈迹,提升散热效率与设备可靠性,避免动平衡破坏。能源行业应用清洗锅炉、电容器、炉管灰垢,减少能量损失与维护成本。食品与制药行业食品加工设备清洁目标:烤箱残渣、传送带油渍、搅拌机胶状物、包装设备污染物。卫生优势:无需化学溶剂,可抑制沙门氏菌等病原体,符合食品安全标准。制药设备高效消毒反应釜、冷凝器及容器内壁,无二次污染风险。酷尔森干冰清洗用于储能工厂焊接工装的清洗,去除油雾和灰尘。

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PACK 组装与电池组维护在电池 PACK(模组组装、Pack 壳体清洁)及退役电池回收前的预处理中,干冰清洗可解决以下问题:1. 模组连接件与壳体清洁清洁对象:电芯间连接片(铜排、铝排)、Pack 壳体内部。污染问题:连接片表面可能有氧化层、油污,影响导电性能;壳体内部可能残留粉尘、胶黏剂残渣,影响模组装配精度。酷尔森icestorm干冰清洗作用:去除氧化层和油污,提升连接片导电性;清洁壳体死角,避免杂质影响模组散热或绝缘性能。2. 退役电池拆解前的预处理清洁对象:退役电芯表面、壳体。污染问题:退役电池表面可能附着电解液残留、粉尘或腐蚀物,拆解时易导致污染物扩散。干冰清洗作用:安全去除表面污染物,避免拆解过程中的二次污染,同时不损伤电芯结构,为后续材料回收(如正极材料、铜箔、铝箔)提供洁净基础。生产设备与环境维护锂电生产设备(如洁净室管道、自动化机器人、检测仪器)的清洁直接影响生产稳定性:洁净室管道与风淋系统:去除管道内的粉尘、微生物残留,避免污染洁净环境;清洁风淋室喷嘴,保障气流均匀性。自动化设备部件:如机械臂抓手、移栽机构,去除表面附着的极片粉末或胶黏剂,避免对电芯造成二次污染。干冰清洗机清洁飞机起落架,除泥沙与锈迹,不损伤金属镀层,保障起降安全。山东便携式干冰清洗生产商

酷尔森雪花清洗机其清洗原理结合了低温脆化、冲击剥离和干冰瞬时升华膨胀的物理效应,实现高效清洁。辽宁全气动干冰清洗24小时服务

封装模具与载板清洁清洁对象:塑封模具(型腔、浇道)、晶圆载板(Wafer Carrier)。污染问题:塑封过程中,环氧树脂(封装材料)会在模具型腔残留、固化,导致封装体出现飞边、缺胶;载板表面若有焊锡残渣、粉尘,会影响晶圆定位精度。干冰清洗作用:干冰的低温使残留环氧树脂脆化,轻松剥离模具死角(如型腔拐角、浇道狭窄处)的固化物,无需使用脱模剂(传统脱模剂可能污染芯片)。清洁载板表面的微小焊锡颗粒和粉尘,保障晶圆在测试或封装时的定位精度(误差需控制在 ±5μm 内)。半导体设备与洁净室维护半导体生产依赖大量精密设备(如光刻机、量测仪器)和 Class 1 级洁净室,其清洁直接影响生产稳定性:1. 精密设备部件清洁光刻机光学系统:清洁镜头表面的油污、粉尘(镜头精度达纳米级,任何污染都会影响曝光精度),酷尔森的干冰颗粒(1μm 以下)可在不接触镜头的情况下去除污染物,避免划伤镀膜层。自动化机械臂:清洁机械臂抓手(End Effector)表面的晶圆残留颗粒(如硅粉),避免对下一片晶圆造成二次污染。量测仪器探头:如膜厚仪、椭偏仪的检测探头,去除表面的有机污染物,保障量测数据的准确性(误差需≤0.1nm)。辽宁全气动干冰清洗24小时服务

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