半导体行业的精密加工对位移精度要求达到纳米级，远恒精密光栅尺通过技术优化，成为半导体设备的关键测量部件。在晶圆光刻机中，可精细测量工作台的位移，实现晶圆与光刻板的高精度对准，确保光...

针对锂电池企业的案例，某新能源锂电池企业选用远恒精密光栅高度仪检测电极片的厚度与高度。在电极生产线上，设备每秒钟可完成多个测点的测量，精细捕捉电极片的厚度偏差，数据实时反馈至涂布工...