随着芯片轻薄化趋势,中清航科DBG(先切割后研磨)与SDBG(半切割后研磨)设备采用渐进式压力控制技术,切割阶段只切入晶圆1/3厚度,经背面研磨后自动分离。该方案将100μm以下晶圆碎片率降至0.01...
为提升芯片产出量,中清航科通过刀片动态平衡控制+激光辅助定位,将切割道宽度从50μm压缩至15μm。导槽设计减少材料浪费,使12英寸晶圆有效芯片数增加18%,明显降低单颗芯片制造成本。切割产生的亚微米...
为提升芯片产出量,中清航科通过刀片动态平衡控制+激光辅助定位,将切割道宽度从50μm压缩至15μm。导槽设计减少材料浪费,使12英寸晶圆有效芯片数增加18%,明显降低单颗芯片制造成本。切割产生的亚微米...
高速切割产生的局部高温易导致材料热变形。中清航科开发微通道冷却刀柄技术,在刀片内部嵌入毛细管网,通过相变传热将温度控制在±1℃内。该方案解决5G毫米波芯片的热敏树脂层脱层问题,切割稳定性提升90%。针...
中清航科的流片代理服务注重技术创新,每年投入营收的15%用于研发。其研发团队专注于流片工艺优化、数字化服务平台开发、新材料流片技术研究等领域,已申请发明专利80余项,其中“一种基于人工智能的流片参数优...
在晶圆切割的批量一致性控制方面,中清航科采用统计过程控制(SPC)技术。设备实时采集每片晶圆的切割尺寸数据,通过SPC软件进行分析,绘制控制图,及时发现过程中的异常波动,并自动调整相关参数,使切割尺寸...
中清航科的流片代理服务注重客户教育,定期发布《流片技术白皮书》《半导体产业趋势报告》等专业资料。这些资料由行业编写,内容涵盖较新的流片技术、市场趋势、应用案例等,提供给客户与行业人士参考。同时举办线上...
中清航科的流片代理服务实现了全渠道服务支持,客户可通过电话、邮件、在线客服、移动端APP等多种渠道获取服务。其客户服务团队实行7×24小时值班制度,确保客户的问题能得到及时响应,普通问题1小时内给出解...
针对晶圆切割过程中的静电防护问题,中清航科的设备采用全流程防静电设计。从晶圆上料的导电吸盘到切割区域的离子风扇,再到下料区的防静电输送轨道,形成完整的静电防护体系,将设备表面静电电压控制在50V以下,...
随着摩尔定律逼近物理极限,先进封装成为提升芯片性能的关键路径。中清航科在Fan-Out晶圆级封装(FOWLP)领域实现突破,通过重构晶圆级互连架构,使I/O密度提升40%,助力5G射频模块厚度缩减至0...
中清航科兆声波清洗技术结合纳米气泡喷淋,去除切割道深槽内的微颗粒。流体仿真设计使清洗液均匀覆盖15:1深宽比结构,残留物
在半导体设备国产化替代的浪潮中,中清航科始终坚持自主创新,中心技术100%自主可控。其晶圆切割设备的关键部件如激光发生器、精密导轨、控制系统等均实现国产化量产,不仅摆脱对进口部件的依赖,还将设备交付周...