复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在l0级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽，然后将数块圆盘串接起来构成，型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行"拖动"，使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动，从而达到抽气目的。筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽，如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上，因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果。在设计制造中，可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角(螺旋升角)来达到较理想的抽气效果。岛津分子泵***的选择
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1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？原因：附近有光照或其他热源解决方法：避免光照或热源2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？原因：冷却不良，负载太大解决方法：检查冷却系统，检查真空系统3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？原因：负载太大，系统真空度不够解决方法：检查系统4、分子泵轴承为什么会烧毁原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？原因：防护网破裂，前级管道破裂解决方法：优化系统设计6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？原因：油池破裂或密封不良解决方法：检查油池7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形原因：过热，负载大解决措施：检查冷却系，检查系统8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？原因：应是偶尔发生的事情。
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