为满足汽车电子追溯要求,中清航科在切割机集成区块链模块。每片晶圆生成单独工艺参数数字指纹(含切割速度、温度、振动数据),直通客户MES系统,实现零缺陷溯源。面向下一代功率器件,中清航科开发等离子体辅助切割(PAC)。利用微波激发氧等离子体软化切割区材料,同步机械分离,切割效率较传统方案提升5倍,成本降低60%。边缘失效区(Edge Exclusion Zone)浪费高达3%晶圆面积。中清航科高精度边缘定位系统通过AI识别有效电路边界,定制化切除轮廓,使8英寸晶圆可用面积增加2.1%,年省材料成本数百万。

中清航科创新性推出“激光预划+机械精切”复合方案:先以激光在晶圆表面形成引导槽,再用超薄刀片完成切割。此工艺结合激光精度与刀切效率,解决化合物半导体(如GaAs、SiC)的脆性开裂问题,加工成本较纯激光方案降低35%。大尺寸晶圆切割面临翘曲变形、应力集中等痛点。中清航科全自动切割机配备多轴联动补偿系统,通过实时监测晶圆形变动态调整切割参数。搭配吸附托盘,将12英寸晶圆平整度误差控制在±2μm内,支持3D NAND多层堆叠结构加工。南通芯片晶圆切割划片中清航科真空吸附晶圆托盘,解决超薄晶圆切割变形难题。

针对高粘度晶圆切割液的回收处理,中清航科研发了离心式过滤净化系统。该系统通过三级过滤工艺,可去除切割液中 99.9% 的固体颗粒杂质,使切割液循环利用率提升至 80% 以上,不只降低耗材成本,还减少废液排放。同时配备浓度自动调节功能,确保切割液性能稳定,保障切割质量一致性。在晶圆切割设备的维护便捷性设计上,中清航科秉持 “易维护” 理念。设备关键部件采用模块化设计,更换激光头、切割刀片等中心组件只需 15 分钟,较传统设备缩短 70% 维护时间。同时配备维护指引系统,通过 AR 技术直观展示维护步骤,降低对专业维护人员的依赖,减少客户运维压力。
中清航科为晶圆切割设备提供全生命周期的服务支持,从设备安装调试、操作人员培训、工艺优化指导到设备升级改造,形成完整的服务链条。建立客户服务档案,定期进行设备巡检与性能评估,根据客户的生产需求变化提供定制化的升级方案,确保设备始终保持先进的技术水平。随着半导体技术向更多新兴领域渗透,晶圆切割的应用场景不断拓展。中清航科积极布局新兴市场,开发适用于可穿戴设备芯片、柔性电子、生物芯片等领域的切割设备。例如,针对柔性晶圆的切割,采用低温冷冻切割技术,解决柔性材料切割时的拉伸变形问题,为新兴半导体应用提供可靠的制造保障。中清航科晶圆切割代工获ISO 9001认证,月产能达50万片。

8 英寸晶圆在功率半导体、MEMS 等领域仍占据重要市场份额,中清航科针对这类成熟制程开发的切割设备,兼顾效率与性价比。设备采用双主轴并行切割设计,每小时可加工 40 片 8 英寸晶圆,且通过优化机械结构降低振动噪声至 65 分贝以下,为车间创造更友好的工作环境,深受中小半导体企业的青睐。晶圆切割工艺的数字化转型是智能制造的重要组成部分。中清航科的切割设备内置工业物联网模块,可实时采集切割压力、温度、速度等 100 余项工艺参数,通过边缘计算节点进行实时分析,生成工艺优化建议。客户可通过云端平台查看生产报表与趋势分析,实现基于数据的精细化管理。中清航科切割耗材全球供应链,保障客户生产连续性。浙江碳化硅半导体晶圆切割代工厂
中清航科晶圆切割机支持物联网运维,故障响应速度提升60%。温州碳化硅线晶圆切割刀片
针对航天电子需求,中清航科在屏蔽室内完成切割(防宇宙射线干扰)。采用低介电刀具材料,避免静电放电损伤,芯片单粒子翻转率降至10⁻⁹ errors/bit-day。中清航科提供IATF 16949认证切割参数包:包含200+测试报告(剪切力/热冲击/HAST等),加速客户车规芯片认证流程,平均缩短上市时间6个月。中清航科残渣图谱数据库:通过质谱分析切割碎屑成分,溯源工艺缺陷。每年帮助客户解决15%的隐性良率问题,挽回损失超$300万。中清航科气动悬浮切割头:根据晶圆厚度自动调节压力(范围0.1-5N,精度±0.01N)。OLED显示面板切割良率提升至99.8%,边缘像素损坏率<0.01%。