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1.洁净室围护结构

围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑，包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外，为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。

2.空气净化系统

除了要满足工艺要求的室内温湿度外，净化空调系统的明显特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用，末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。

3.附属设备

为保证洁净室的使用，应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施，如空气吹淋、传递窗等。此外，还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。

洁净室气密性、紫外辐射照度测试——上海蔚亚科技。上海生物安全柜检测诚信推荐

用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单，只要对将上游气溶胶浓度设置为基准，下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%)，则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%)，或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% )，则应该直接更换过滤器。安徽生物安全柜检测技术好蔚亚科技检测设备设备校准满足要求。

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排出，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

如何维持良好的压差稳定性

1、定期更换新风滤网，以减少新风滤网堵塞造成的压差降低。

2、定期更换初效、中效过滤器，以减少送风量的波动带来的压差混乱。

3、不要频繁地开门、关门，以免自控系统反复调节出现失灵和压差紊乱。

4、减少每次开、关门时间，以免出现风量泄漏、压差降低超过系统的调节围。

5、关门必须关严，否则漏风量过大，会造成压差混乱。

6、使用自动门，可以设定开门时间、保持时间、关门时间，保证压差不受到很大的波动影响。

7、定期检查每一个门的密封性。

8、定期检查现场的压差装置及显示数据。

9、随时监控在线压差显示系统的数据，随时了解现场发生的状况，并及时提醒操作人员注意压差的稳定保持。 检测是验证洁净室是否达标的一个指标。

温湿度

洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。较早档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。

本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。 上海蔚亚科技专门洁净室环境检测。浙江洁净室环境检测诚信推荐

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压差

这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。

压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界较远的里间房间开始，依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区)，其洞口处宜有合理的气流流向等等。

压差检测要求：

(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。

(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。

(4)所测量记录的数据应精确到 1.0Pa。

压差检测步骤：

(1)先关闭所有的门。

(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

(3)记录所有数据。 上海生物安全柜检测诚信推荐