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 洁净室风量及换气次数检测的意义

洁净室的洁净度主要是靠送人足够量的洁净空气，以置换、稀释室内在生产过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正(负)压，以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此，洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。

洁净室利用送人洁净空气稀释室内空气污染物，或利用排风带出室内空气污染物，排风的同时，靠送风补充室内空气，形成换气。风量越大，污染物排除越快。当污染物排出速率高于产生速率时，空气中污染物浓度减少，洁净度提高;当污染物排出速率与产生速率相等时，空气中污染物浓度维持不变，洁净度不变;当污染物排出速率低于产生速率时，空气中污染物浓度增加，洁净度下降。所以，要达到一定的洁净度，就必须保证足够的送风量和排风量。但是，过大的风量会造成高效过滤器送风断面风速过高，过滤效率下降以及能源浪费等现象。

风量检测的目的是判断各个风口的送风量、回风量、排风量等是否满足设计要求。换气次数的检测目的则是判断洁净室是否达到了设计要求的换气次数。风量和换气次数检测的意义是为判断是否满足设计要求提供依据。 洁净室气密性、紫外辐射照度测试——上海蔚亚科技。上海生物安全柜检测认真负责

洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

上海生物安全柜检测认真负责静态：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室，但是设施内没有操作人员。

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排出，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

洁净室换气次数的计算方法

洁净室的换气次数主要根据洁净室的送风量确定。婴计算洁净室的换气次数，需要先确定洁净室的送风量。

根据洁净室的气流组织不同以及洁净室的送回风形式不同，洁净室风量的检测也有很多种方法，目前工程上比较常用的有如下几种。

1.使用电子风量仪进行送风量检测。

2.采用风速仪检测风口截面的风速和出风口面积，计算风口的风量。

3.采用风速仪检测风管截面的风速和风管面积，计算风管的风量。

换气的作用是保证有足够的洁净空气稀释室内污染空气。换气次数计算公式为:

N=L/V

式中N-房间换气次数， 次/h;

L-洁净室的总送风量， m/h;

V-洁净室体积， m³。

洁净室房间体积应按洁净室建筑情况正确计算。例如，长方体的洁净室，内部有地板下部空间和天花吊顶上部空间，则其房间体积计算等于房间的长宽高乘积，其中房间高为净高，即房间原高减去地板高度和吊顶高度。 蔚亚检测满足客户需要，专注于洁净室环境检测。

1.洁净室的基本参数

(1)洁净度。洁净度是指单位体积的空气中不小于某一 粒径的微粒个数。洁净度等级分为1 ~9级。

(2)微生物浓度。微生物浓度是指单位体积的空气中微生物的个数。微生物包括***、细菌、***等，种类繁多。

(3)温度。温度方面要满足工作人员舒道性要求， 另一方面会影响加工的精响度，甚至会影响仪器的参数，从而造成检测误差。而且湿度过大会造成金属腐蚀、

(4)湿度。湿度也是影响工作人员舒适性的条件，电路短路、细菌滋生。

(5)风速与风量。足够的风速与风量是洁净度的保证;过大的风速与风量不仅浪费能量，而且有时会影响洁净室生产设备的正常工作。

(6)气压与压差。控制压差是控制**气方向的手段。般洁净室为 了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区城泄涮。而***实验室或传染病房，为了安全考虑不允许室内空气向室外泄漏。

(7)照度。照度是满足正常生产工作的必要条件。

(8)噪声。噪声会影响人员的身体健康。

2.洁净室的特殊参数

(1)振动。振动-方面影响设备的加工精确度，另方面会影响仪器的检测精度。

(2)有害气体浓度。有害气体的种类繁多，有的会损害人体健康，有的会影响产品质量和产品的合格率。洁净室需要控制有害气体浓度。 空态：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。上海生物安全柜检测认真负责

保持仪器设备满足预期要求。上海生物安全柜检测认真负责

1.洁净室围护结构

围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑，包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外，为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。

2.空气净化系统

除了要满足工艺要求的室内温湿度外，净化空调系统的明显特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用，末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。

3.附属设备

为保证洁净室的使用，应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施，如空气吹淋、传递窗等。此外，还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。

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