洁净室环境检测规范性强

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

公司检测活动主要以现场检测为主，方便客户、为客户服务是我们公司的宗旨。洁净室环境检测规范性强

1.洁净室围护结构

围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑，包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外，为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。

2.空气净化系统

除了要满足工艺要求的室内温湿度外，净化空调系统的明显特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用，末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。

3.附属设备

为保证洁净室的使用，应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施，如空气吹淋、传递窗等。此外，还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。

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洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单，只要对将上游气溶胶浓度设置为基准，下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%)，则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%)，或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% )，则应该直接更换过滤器。上海蔚亚环境检测高效、准确。

因为空气总是从压差高的地方流向压差低的地方，所以，我们必须保证洁净度越高的房间压差越高，洁净度越低的房间压差越低，这样，当洁净室在正常工作或房间的密闭性受到破坏时（比如开门），空气都能从洁净度高的区域流向洁净度低的区域，使高洁净级别的房间的洁净度不受到低级别房间的空气的污染和干扰。因为这种污染和交叉污染是无形的，被很多人所忽视的，同时，这种污染又是非常严重的、不可逆转的，一旦被污染，后患无穷。

所以，我们把洁净室的空气污染列为仅次于'人的污染”的“第二大污染源”。有人说这种污染可以通过自净来解决，但是自净需要时间，瞬间如果污染到了房间的设备设施、甚至已经污染到了物料，自净是没有任何作用的。所以，保证压差控制的必要性显而易见。 洁净室气密性、紫外辐射照度测试——上海蔚亚科技。检测认真负责

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上海蔚亚科技发展有限公司是一家为制药、电子、化工、化妆品、保健食品等行业提供洁净室及净化设备的调试、验证测试以及培训的综合服务公司,在洁净室的调试和检测有着丰富的经验。我们公司具有CMA国家检测资质,具有**法人地位和第三方检测地位。

我们公司以先进的检测仪器和设备、雄厚的专业技术力量和完善的质量保证体系,为社会提供科学、公正、具有法律效力的检测数据和报告。公司检测活动主要以现场检测为主,方便客户、为客户服务是我们公司的宗旨。

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