洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化。浙江洁净室环境检测值得推荐

单向流洁净室的风速检测要求
单向流洁净室的风速基本稳定,气流的方向基本相同,进风口附近的风速与工作面的风速差别不大,而且整个洁净室内的风速均匀性较好。
(1)测点位置。按照《洁净窒施工及验收规范》(GB50591- 2010) 要求,垂直单向流洁净室的检测截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面,如有阻隔面,该检测截面应拾高至阻隔面之上0.25 m;水平单向流洁净室取距送风面0.5 m的垂直于地面的截面。
(2)测点个数。检测风速时,把检测断面均匀分成若干面积相等的格子,格子数即测点数。测点间距不应大于1m,-般取0.3m, 测点数应不少于20个。
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《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:
1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。
2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。
3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样,并以5 ~ 20 mm/s速度移动。
4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。
5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。
6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3 m。
7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0. 85m,每25 m2设1个检测点。
温湿度
洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。较早档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。
本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后才开始测量,测量时间不少于5分钟。 蔚亚科技检测设备设备校准满足要求。

洁净室噪声的基本概念及检测意义
声音是由于物体的振动而产生的,是能对人类的耳朵和大脑产生影响的一种气压变化,这种变化将天然的或人为的振动源(例如机械运转、说话时的声带振动等)的能量进行传递。辐射声音的报动物体称为“声源”,声源发声后要经过一定的介质才能向外传播到人耳。人类早对声音的感知是通过耳朵,普通人耳能听到的声音有一个确切数据的范围,该范围就称为“周”。普通人耳能接收到的**弱的声音称为“可闻阔",其声强值约为10-12W/m2,而普通人耳能够忍受的**强的声音称“痛阈”,其声强值约为1 W/m2,超过这一数值, 将引起人耳的疼痛。
房间内允许的噪声级称为室内噪声标准。噪声标准的制定应满足生产或工作条件的需要,并能消除噪声对人体的有害影响,同时也与技术经济条件有密切的关系。无原则地提高标准将导致浪费,这是应该注意的。
洁净室内的噪声检测主要考虑洁净室环境噪声对人的影响。噪声可以使人的听力衰退,引发多种疾病,同时,还影响人们正常的工作与生活,降低劳动生产率;特别强烈的噪声还会损坏建筑物,影响仪器设备的正常运行。
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《洁净厂房设计规范》GB50073-2013规定:
洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,洁净区与室外的压差不应小于10Pa。
《医院洁净手术部建筑技术规范》GB50333-2013规定:
相互连通的不同洁净度级别的洁净用房之间,洁净度高的用房应对洁净度低的用房保持相对正压。比较低静压差应大于或等于5Pa,比较大静压差应小于20Pa,不应因压差而产生哨音或影响开门。
相互连通的相同洁净度级别的洁净用房之间,宜有适当压差,保持要求的气流方向。
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1.洁净室高效过滤器检漏的方法与重要性高效过滤器是洁净室实现高洁净度的关键设备,其性能直接影响洁净室的空气洁净度。高效过滤器检漏是确保过滤器无泄漏、维持洁净室洁净度的重要环节。常用的检漏方法有粒子计数器扫描法和光度计法。粒子计数器扫描法是使用粒子计数器对高效过滤器的表面和边框进行逐点扫描,通过检测过滤器下游空气中的尘埃粒子浓度来判断是否存在泄漏。在扫描过程中,扫描头应与过滤器表面保持一定距离和速度,确保检测的全面性和准确性。光度计法则是通过测量过滤器上下游空气的光通量变化来确定过滤器的泄漏情况。高效过滤器一旦出现泄漏,即使是微小的缝隙,也会导致大量未经过滤的污染空气进入洁净室,严重影响洁净室的...