浙江实验室环境检测认真负责

用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单，只要对将上游气溶胶浓度设置为基准，下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%)，则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%)，或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% )，则应该直接更换过滤器。检测是验证洁净室是否达标的一个指标。浙江实验室环境检测认真负责

非单向流洁净室的风速检测要求

非单向流洁净室的风速检测一般检测风口风量。 内安装过滤器的风口采用与检测风速计算风量时相同的套管法或风管法。检测时，风口上的任何配件、饰物律保持原样。

选用套管法时，可用轻质板材或膜材做成与风口内截面相同或相近、长度大于2倍风口边长的直管段作为辅助风管，连接于过滤器风口外部，在套管出口平面均匀划分小方格，方格边长不大于200 mm,在方格中心设测点，不少于6点。

对于风口，上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时，可用风管法。检测断面距局部阻力部件距离，在局部阻力部件后者，距离局部阻力部件不少于5倍管径或5倍长边;在局部阻力部件前者，距离局部阻力部件不少于3倍管径或3倍长边。对于矩形风管，检测截面应按奇数分成纵横列，再在每一列上分成若干个相等的小截面，每个小藏面宜接近正方形，边长比较好不大于200 mm,测点位于小截面中心，测点数不宜少于6个。对于圆形风管，应按等面积圆环法划分检测截面并确定测点数。 浙江实验室检测值得推荐蔚亚检测满足客户需要，专注于洁净室环境检测。

单向流洁净室的风速检测要求

单向流洁净室的风速基本稳定，气流的方向基本相同，进风口附近的风速与工作面的风速差别不大，而且整个洁净室内的风速均匀性较好。

(1)测点位置。按照《洁净窒施工及验收规范》(GB50591- 2010) 要求，垂直单向流洁净室的检测截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面，如有阻隔面，该检测截面应拾高至阻隔面之上0.25 m;水平单向流洁净室取距送风面0.5 m的垂直于地面的截面。

(2)测点个数。检测风速时，把检测断面均匀分成若干面积相等的格子，格子数即测点数。测点间距不应大于1m，-般取0.3m, 测点数应不少于20个。

《洁净厂房设计规范》GB50073-2013规定：

洁净室（区）与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。

《医院洁净手术部建筑技术规范》GB50333-2013规定：

相互连通的不同洁净度级别的洁净用房之间，洁净度高的用房应对洁净度低的用房保持相对正压。比较低静压差应大于或等于5Pa，比较大静压差应小于20Pa，不应因压差而产生哨音或影响开门。

相互连通的相同洁净度级别的洁净用房之间，宜有适当压差，保持要求的气流方向。

静态：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室，但是设施内没有操作人员。

洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 在洁净室内，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么变化。排风柜检测诚信推荐

上海蔚亚环境检测高效、准确。浙江实验室环境检测认真负责

光度计法（GB50591-2010）

1被检漏过滤 器必须已测过风量，在设计风速的80%~120%之间运行。

2在同一 送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

3当几台 或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引人检漏用气溶胶，并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

4对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的10倍。当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度宜达到(20~80) pg/L. 浓度低于20ug/L会降低检漏灵敏度，高于80pg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有(0.001~-100) ug/L 的测量范围。

5对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0,01%，即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点， 静止检测时，如测得透过率高于0,01%，即认为该点为漏点。 浙江实验室环境检测认真负责