洁净室检测规范性强

5.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性。主体结构宜采用大空间及大跨度柱网，不宜采用内墙承重体系。5.1.2洁净厂房围护结构的材料选型应符合保温、隔热、防火、防潮、少产尘等要求。5.1.3洁净厂房主体结构的耐久性应与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。5.1.4送、回风管和其他管线暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等。穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井，其形式、尺寸和构造应符合风道、管线的安装、检修和防火要求。5.1.5对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房的平面布局和构造处理，应避免人流、物流运输及防火方面对洁净生产带来不利的影响。持续改进洁净室检测流程和方法，提高检测效率和效果。洁净室检测规范性强

抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏，乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室，只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别，就可以不进行检漏。技术要求检漏的结果要符合条件：由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率，对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍，对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏，扫描法有检漏仪法光度计法和采样量为1L/min的粒子计数器法两种。洁净室环境检测技术好根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型。

洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。

相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快。高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。它不仅对室内空气的温度、湿度、风速有一定要求，而且对空气中的含尘粒数、细菌浓度等均有较高的要求。

B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区，其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%，粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%，见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定，是基于对扩散元件透过率的计算，该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%，对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器（DPC）或凝聚核计数器（CNC）的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧，则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧，则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低计数效率。此时，经改进的离散粒子计数器或凝聚核计数器的计数效率就成为原计数器的计数效率与粒径限制器透过率的乘积。尘埃粒子的粒径分布分析有助于评估洁净室的过滤效率。江苏洁净室检测技术好

洁净室环境检测依据行业标准及国家标准。洁净室检测规范性强

(1)净化处理原则：能用局部净化的场合，就尽可能不用净化；或低级别的净化高级别的局部净化相结合。避免把需要净化的环境分割成较小的空间，这样做虽然有利于控制污染，但这也造成平面复杂化、增加造价、作业程序不易改变、人员流动不方便，以及小房间造成人们心理上的不快。(2)由于气流分布的不均匀和尘粒分布等不均匀性，洁净室的微粒实际上是不均匀分布的，较为典型的三区不均匀分布模型，即分为主流区、涡流区和回风口区。主流区含区含尘浓度可比室平均浓度低30%到一半。建议把工艺布置在主流区内。(3)主要工艺可尽量布置于送风管上风段，上风段相对来说，洁净程度比下风段要好表2为某10万级洁净车间内沿一条送风管走向设置的六个测点检测结果(空态下)，测点l~6由上风段依次向下，可以看出，各点尘粒数有较大区别当然，其中也有送风管上各送风口风量没有较好调节的原因，但这种较大区别的可能还是不可忽视。洁净室检测规范性强