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13.3.1可拆卸式电磁屏蔽室的壁板、顶板和底板宜选用1.5mm厚钢板，或0.3mm~0.5mm厚钢板、铝板或不锈钢板。屏蔽模块板相互连接处应安装连续的导电衬垫。施工直接安在围护结构地面上的底板时，底板与地面之间应铺2mm~3mm厚的电绝缘和能隔水汽的垫层。安装过程中不得在底板上洒水。13.3.2焊接式电磁屏蔽室的壁板和顶板宜选用2mm厚钢板，底板宜选用2.5mm~3mm厚钢板。选用铜板、铝板或不锈钢板时，均宜选用0.3mm~0.5mm厚的薄板。焊接时严禁烧穿屏蔽壁板，不得使壁板变形。当在屏蔽壁板表面粘贴铁氧体等吸波材料时，必须把表面焊缝打磨平整。洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产。北京气流无尘室检测第三方检测机构

7.3.1洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。净化空调系统的型式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室（区)面积较小或只有局部要求净化时，宜采用分散式净化空调系统。7.3.2洁净厂房的洁净室（区)送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室（区）使用功能和降低能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的送风方式。江苏半导体净化车间无尘室检测值得推荐国内按空态、静态、动态对无尘车间进行测试。

E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行，有排风时，应在比较大排风量条件下进行，并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差，直至测出洁净区与非洁净区、室外环境（或向室外开口的房间）之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室，还应测定开口处的流速和流向。E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行，有排风时，应在比较大排风量条件下进行，并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差，直至测出洁净区与非洁净区、室外环境（或向室外开口的房间）之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室，还应测定开口处的流速和流向。

6.3.1管道安装前应进行以下准备工作：1配管下料时应采用“等离子切割”或**切割锯、割管刀等工具，不应采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或润滑剂。2管道切口应与管轴线垂直，切口表面应平整、无裂纹，应去除毛刺。3在主管道上连接支管或部件时，宜用成品连接件。4普通不锈钢管应在工厂的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水冲洗干净。5氧气管道及附件，安装前应按相关规定方法进行脱脂，脱脂应在远离洁净室的地点进行，并做好操作人员的安全与环境保护工作。设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

11.2.1有风机的净化设备当其风机底座与箱体软连接时，搬运时应将底座架起固定，就位后放下。11.2.2净化设备安装应在建筑内部装饰和净化空调系统施工安装完成，并进行***清扫、擦拭干净之后进行，但与围护结构相连的设备或其排风、排水管道必须与围护结构同时施工时，与围护结构应圆弧过渡，曲率半径不应小于 30mm，连接缝应采用密封措施，做到严密清洁。11.2.1有风机的净化设备当其风机底座与箱体软连接时，搬运时应将底座架起固定，就位后放下。11.2.2净化设备安装应在建筑内部装饰和净化空调系统施工安装完成，并进行***清扫、擦拭干净之后进行，但与围护结构相连的设备或其排风、排水管道必须与围护结构同时施工时，与围护结构应圆弧过渡，曲率半径不应小于 30mm，连接缝应采用密封措施，做到严密清洁。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。可以是开放式或封闭式。上海微生物无尘室检测值得推荐

洁净室则是一种控制空气中的污染物质。北京气流无尘室检测第三方检测机构

6.2.3洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区)，在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的最大允许建筑面积可按生产工艺要求确定。6.2.4洁净室的上技术夹层、下技术夹层和洁净生产层，当按其构造特点和用途作为同一防火分区时，上下技术夹层的面积可不计人防火分区的建筑面积，但应分别采取相应的消防措施。6.2.5洁净室的顶棚和墙板、技术竖井井壁的材质选择，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。北京气流无尘室检测第三方检测机构