北京电子厂房环境无尘室检测方法

E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行，有排风时，应在比较大排风量条件下进行，并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差，直至测出洁净区与非洁净区、室外环境（或向室外开口的房间）之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室，还应测定开口处的流速和流向。E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行，有排风时，应在比较大排风量条件下进行，并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差，直至测出洁净区与非洁净区、室外环境（或向室外开口的房间）之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室，还应测定开口处的流速和流向。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。北京电子厂房环境无尘室检测方法

E.1.1风量风速检测必须首先进行，净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。E.1.2风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍，所有阀门应固定在一定的开启位置上，且必须实际测量被测风口、风管尺寸。E.1.3测定室内微风速仪器的小刻度或读数不应大于0.02m/s，一般可用热球式风速仪，需要测出分速度时，应采用超声波三维风速计。E.1.4对于单向流洁净室，可采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量，垂直单向流洁净室的测定截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面，如有阻隔面，该测定截面应抬高至阻隔面之上 0.25m;水平单向流洁净室取距送风面 0.5m 的垂直于地面的截面，截面上测点间距不应大于1m，一般取 0.3m。测点数应不少于 20 个，均匀布置。E.1.5对于非单向流洁净室，内安装过滤器的风口可采用套管法、风量罩法或风管法测定风量，为测定回风口或新风口风量，也可用风口法。江苏排风柜无尘室检测服务至上无尘室是指可以将环境因素控制在规定数值内的空间，称之为无尘室。

4.2.1洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等，也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。4.2.2电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。4.2.3洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时，宜采用微环境等型式。

12.2.1排烟管道的安装试验应符合本规范第5章的有关规定。12.2.2排烟管道的隔热层应采用厚度不小于40mm的不燃绝热材料。12.2.3砖、混凝土风道的制作应保证管道的气密性，灰缝应饱满，内表面水泥砂浆面层应平整。12.2.4送风口、排烟口的固定应可靠，表面应平整、无变形、调节灵活。排烟口距可燃物或可燃构件的距离不应小于1.5m。排烟口安装时不应影响防倒灌设施正常发挥作用。排烟口应安装板式排烟口，不应漏风。12.2.5排烟风机的安装应符合下列规定：1当**排烟风机设在混凝土或钢架基础上时可不设减振装置；若需设置减振装置，则不应使用橡胶减振装置。2排烟风机宜安装在该系统比较高排烟口之上，并宜安在机房内，机房与相邻部位隔墙应符合防火要求。指洁净室内离地面高度0.8~15m(除工艺特殊要求外）的区域。

15.5.1施工材料在运输、储存和施工过程中，应采取包裹、覆盖、密闭、围挡等措施，防止污染环境。15.5.2施工过程中应做到当天施工当天清理现场，并有专人负责的制度。在完成了高效过滤器安装、地面墙面的装饰工作之后，洁净室内不应再进行产尘、扬尘作业。15.5.3应根据环保噪声标准昼夜要求的不同，合理协调安排施工分项的施工时间。15.5.4施工完成后根据需要可进行环保测评。15.5.5施工组织设计应包括施工节能内容，编制施工节能方案，并经监理(建设)单位审查批准，对从事施工节能作业的专业人员应进行技术交底和必要的实际操作培训。15.5.6采取节约用电、用水措施，施工用电、用水应安装计量装置。无尘室的存在对于许多前沿科技的发展起着至关重要的作用。北京电子厂房环境无尘室检测方法

无尘室极主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度。北京电子厂房环境无尘室检测方法

6.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局，应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生产规模的要求确定。6.1.2洁净厂房的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网，不应采用内墙承重体系。6.1.3洁净厂房的立面设计应简洁、明快，并应适应洁净室(区)的布置要求。洁净厂房围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少产尘、易清洁等要求。6.1.4洁净厂房主体结构的耐久性应与电子产品生产线设备、生产环境控制设施协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。6.1.5设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造，应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。北京电子厂房环境无尘室检测方法