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洁净室空气中悬浮粒子检测采样时应注意的问题①静态测试时室内的测试人员不得多于2人测试报告中应标明测试时所采用的状态；②对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始非单向流要不少于30min后开始；③必须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定；④每个采样点可按所计算确定的**小采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于**小采样量。⑤测定时，进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋室，在室内尽量处于下风处并静止少动。无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求，在操作台上保持高洁净度的局部净化。湖南洁净工作台检测值得推荐

单向流洁净室的原理和特性

   ⑴定义

   单向流洁净室是：气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。

   ⑵原理

   单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用，迅速把室内污染排出。

   要保证活塞作用的实现，*重要一点是高效过滤器必须满布。当然，过滤器是有边框的，顶棚也有边框，不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度：

   正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%，水平单向流应小于40%，否则就是局部单向流了。

   ⑶特征指标

   ①流线平行度（流线平行性）

   流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行（在0.5m距离内线间夹角不能小于15°），又要求流线尽可能垂直于送风面（其倾角*小不能小于65°）。

   ②乱流度（速度不均匀度）

   速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 浙江检测方便客户空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。

洁净室制造竣工验收的调试工作1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。属于机械设备的共性要求还应符合国家相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。2、在单机试运转合格后需对送风系统、回风系统、排风系统的风量、风压调节装置进行设定与调整使各系统的风量分配达到设计要求。这个阶段检测的目的主要是服务于空调净化系统的调节与平衡往往需要反复进行多次。此项检测主要由承包商负责建设方的维护管理人员宜于跟进以便熟悉系统。在此基础上再进行包括冷、热源在内的系统联合试运转时间一般不少于8h。要求系统中各项设备部件包括净化空调系统、自动调节装置等的联动运转与协调过程中应动作正确无异常现象。

如何维持良好的压差稳定性1、定期更换新风滤网，以减少新风滤网堵塞造成的压差降低。2、定期更换初效、中效过滤器，以减少送风量的波动带来的压差混乱。3、不要频繁地开门、关门，以免自控系统反复调节出现失灵和压差紊乱。4、减少每次开、关门时间，以免出现风量泄漏、压差降低超过系统的调节围。5、关门必须关严，否则漏风量过大，会造成压差混乱。6、使用自动门，可以设定开门时间、保持时间、关门时间，保证压差不受到很大的波动影响。7、定期检查每一个门的密封性。8、定期检查现场的压差装置及显示数据。9、随时监控在线压差显示系统的数据，随时了解现场发生的状况，并及时提醒操作人员注意压差的稳定保持。非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A)，单向流和混合流洁净室(区)的噪声级不应大于65dB(A)。

 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

风机过滤单元（FFU）是一种空气自净装置，可室内吊顶安装或放置在支架上，使局部级别达到百级。河北洁净工作台检测服务至上

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①换气次数

   换气次数的作用是保证有足够进行稀释的干净气流。

   换气次数的多少应根据计算和经验确定。

   ②气流组织

   气流组织的作用是保证能均匀地送风和回风，充分发挥干净气流的稀释作用。因此要求单个风口有足够的扩散作用，全室回风布置均匀，数量多一些好，要尽量减少涡流和气流回旋。

   ③自净时间

   自净时间是洁净室从污染状态回复到稳定状态的能力的体现，越短越好。也可以指定为从某污染状态降低到某洁净状态的时间。

③下限风速

   这是为了保证洁净室能控制以下四种污染的小风速：

   a.当污染气流多方位散布时，送风气流要能有效控制污染的范围；

   b.当污染气流与送风气流同向时，送风气流要能有效控制污染气流到达下游的扩散范围；

   c.当污染气流与送风气流逆向时，送风气流能把污染气流在必要的距离之内；

   d.在全室被污染的情况下，足以在合适的时间迅速使室内空气自净。

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