企业商机
真空计基本参数
  • 品牌
  • CHUNY
  • 型号
  • MEMS皮拉尼、MEMS电容等
真空计企业商机

辰仪陶瓷电容真空计是完全对标英福康的陶瓷电容真空计而开发的一款陶瓷膜片真空计,已实现全系列部件国产化的陶瓷膜片真空计,产品测量精度已达到和英福康一致水平。辰仪陶瓷电容真空计已在暖通、储能、光伏、CVD等行业销售,产品性能获得客户认可。

辰仪陶瓷电容真空计是完全对标英福康的陶瓷电容真空计而开发的一款陶瓷膜片真空计,已实现全系列部件国产化的陶瓷膜片真空计,产品测量精度已达到和英福康一致水平。辰仪陶瓷电容真空计已在暖通、储能、光伏、CVD等行业销售,产品性能获得客户认可。 皮拉尼真空计通常用于测量低压气体或真空系统中的压力。重庆电容薄膜真空计原厂家

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如何选择真空计?考虑测量范围与精度:不同的真空计有不同的测量范围,需要根据实际需求选择。例如,热阴极电离真空计适用于高真空环境(10-11 mbar),而热阻式真空计则适用于气压在10-9 mbar范围内的测量。精度是选择真空计时需要考虑的另一个重要因素。需要根据物体不同的尺寸、物理量等来选择精度要求更高的真空计。考虑被测气体与环境:部分真空计对被测气体有要求。例如,热阴极电离真空计的阴极易受过量空气及泵油蒸气等污染物的损害,因此需要考虑被测气体是否会对真空计造成损伤。部分真空计会影响被测环境。例如,压缩式真空计在测量时要压缩被测气体,这可能会使水蒸气凝结,从而影响被测真空环境。江苏mems真空计设备公司如何维护和保养电容真空计?

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辰仪MEMS电容真空计是辰仪完全自主开发的,采用MEMS技术开发的电容真空计,该真空计是通过直接的压力变化产生的电容值的变化得出真空度的一种真空测量方法,精度可达到万分之一,且不受气体种类的限制的优点,是高精度高稳定性真空测量的理想选择。

辰仪MEMS电容真空计是辰仪完全自主开发的,采用MEMS技术开发的电容真空计,该真空计是通过直接的压力变化产生的电容值的变化得出真空度的一种真空测量方法,精度可达到万分之一,且不受气体种类的限制的优点,是高精度高稳定性真空测量的理想选择。

真空计在多个领域中都发挥着重要作用,包括但不限于:

科研领域:在物理、化学、材料科学等实验中,真空计用于测量实验装置内的真空度,确保实验环境的纯净度和稳定性。

工业生产:在半导体制造、真空镀膜、真空热处理等工艺中,真空计用于监控生产过程中的真空度,确保产品质量和生产效率。

医疗领域:在医疗设备中,如真空泵、呼吸机等,真空计用于测量和监控设备内部的压力变化,确保设备的正常运行和患者的安全。

航空航天:在航天器的制造和测试中,真空计用于模拟太空环境,测量和记录真空度变化,为航天器的设计和改进提供数据支持。 真空计使用过程中常见的问题有哪些?

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真空计按测量原理分类

静态液位真空计测量原理:利用U型管两端液面差来测量压力。弹性元件真空计测量原理:利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。但直接测量这样小的力是困难的,因此可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。压缩式真空计测量原理:在U型管的基础上应用波义耳定律,即将一定量待测压力的气体,经过等温压缩使之压力增加,以便用U型管真空计测量,然后用体积和压力的关系计算被测压力。热传导真空计测量原理:利用低压下气体热传导与压力有关的原理制成。示例:电阻真空计、热偶真空计等。热辐射真空计测量原理:利用低压下气体热辐射与压力有关的原理。 皮拉尼真空计在哪些领域有应用?无锡mems皮拉尼真空计设备厂家

电容真空计与热传导式真空计相比有何不同?重庆电容薄膜真空计原厂家

按测量原理分类

电离真空计测量原理:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。示例:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、放射性电离真空计等。放电管指示器测量原理:利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度,一般能作为定性测量。粘滞真空计测量原理:利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。示例:振膜式真空计、磁悬浮转子真空计等。场致显微仪测量原理:以吸附和解吸时间与压力关系计算压力。分压力真空计测量原理:利用质谱技术进行混合气体分压力测量。示例:四极质谱计、回旋质谱计、射频质谱计等。 重庆电容薄膜真空计原厂家

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真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控:电容规测腔体压力(1~10⁻²Pa),电离规监控等离子体区(10⁻²~10⁻⁵Pa)。ALD设备要求真空计耐腐蚀(如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规)。数据采样率需>10Hz以匹配工艺控制节奏。14.真空计的寿命与维护热阴极规寿命约1~2万小时(灯丝断裂);冷阴极规可达10万小时。维护包括:①定期烘烤除气(200℃/24h);②避免油蒸气污染;③检查电缆绝缘(高阻抗易受干扰)。故障模式中,灯丝开路占70%,陶瓷绝缘劣化占20%。真空计的维修与保养。杭州mems皮拉尼真空计公司真空计的特点7.多种信号输出模拟信号:如4-20mA、0-10V,便于与...

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